本标准规定了碳化硅(SiC)外延材料少子寿命的激光微波光电导衰减测试方法的测试原理、测试条件、测试程序、数据处理和测试报告等内容。本标准适用于表面垂直方向上掺杂均匀的单层4H晶型SiC外延材料少子寿命的测试
最后更新时间 2025-09-02