现行 SJ 21633-2021
碳化硅外延材料少子寿命的激光微波光电导衰减测试方法 碳化硅外延材料少子寿命的激光微波光电导衰减测试方法
发布日期:
实施日期:2022-03-01
分类信息
标准简介

本标准规定了碳化硅(SiC)外延材料少子寿命的激光微波光电导衰减测试方法的测试原理、测试条件、测试程序、数据处理和测试报告等内容。本标准适用于表面垂直方向上掺杂均匀的单层4H晶型SiC外延材料少子寿命的测试

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少子电导碳化硅衰减外延

最后更新时间 2025-09-02