作废 SJ 3247-1989
同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法 同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法 Methods of measurement for extended-layer thickness of same-type Gallium arsenide by infra-red interference
发布日期：1989-03-20
实施日期：1989-03-25
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料、                                                                       
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外延厚度干涉测试方法

最后更新时间 2025-08-28