作废 YS/T 15-1991
硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
发布日期：1991-04-26
实施日期：1992-06-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H82冶金 - 半金属与半导体材料 - 元素半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介

本标准规定了硅外延层和扩散层厚度 磨角染色达测试方法。本标准适用于薄层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的薄层厚度测量。测量范围:1～25 μm

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最后更新时间 2025-08-28