作废 YS/T 23-1992
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H80冶金 - 半金属与半导体材料 - 半金属与半导体材料综合
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介

本标准规定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法。本标准适用于在<111>,<100>和<110>晶向的硅单晶衬底上生长的硅外延层厚度的测量

相似标准/计划/法规
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Test method for thickness of epitaxial layers—Stacking fault size
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堆垛外延测定厚度尺寸

最后更新时间 2025-08-29