作废 SJ/T 10481-1994
硅外延层电阻率的面接触三探针测试方法 硅外延层电阻率的面接触三探针测试方法 Test method for resistivity of silicon epitaxial layers by area contacts three-probe techniques
发布日期：1994-04-11
实施日期：1994-10-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L34电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 其他电子元器件
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介
相似标准/计划/法规
GB/T 14141-2009
硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
2009-10-30
探针外延接触测试方法

最后更新时间 2025-08-29