作废 SJ 20514-1995
微波功率晶体管用硅外延片规范 微波功率晶体管用硅外延片规范 Specification for silicon epitaxial wafer for microwave power transistor
发布日期：1995-05-25
实施日期：1995-12-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H82冶金 - 半金属与半导体材料 - 元素半导体材料
ICS分类：
研制信息

起草单位： 电子部第十三研究所

起草人： 石志曾、 张嘉萍、 李戍德、 吴福民、 夏明颖

标准简介

本规范规定了微波功率晶体管用硅外延片的要求、质量保证规定和交货准备等。本规范适用于微波功率晶体管用直径为38mm以上的同质硅外延片，其它半导体分立器件同质硅外延片也可参照采用

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最后更新时间 2025-08-29