作废 SJ 1550-1979
硅外延片检测方法 硅外延片检测方法 Method of inspection for silicon epitaxial wafers
发布日期：1980-03-01
实施日期：1980-06-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H81冶金 - 半金属与半导体材料 - 半金属
ICS分类：
标准简介
相似标准/计划/法规
GB/T 14139-2019
硅外延片
Silicon epitaxial wafers
2019-06-04
GB/T 14015-1992
硅-蓝宝石外延片
Silicon on sapphire epitaxial wafers
1992-12-28
GB/T 35310-2017
200mm硅外延片
200mm silicon epitaxial wafer
2017-12-29
GB/T 43885-2024
碳化硅外延片
Silicon carbide epitaxial wafers
2024-04-25
GB/T 44334-2024
埋层硅外延片
Silicon epitaxial wafers with buried layers
2024-08-23
GB/T 42902-2023
碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method
2023-08-06
SJ/T 11471-2014
发光二极管外延片测试方法
Measurement methods for epitaxial wafers of light-emitting diodes
2014-10-14
KS D 0261(2017 Confirm)
실리콘 거울면 웨이퍼의 겉모양 검사
用镜面检查硅晶片
2012-05-17
KS D 0262(2017 Confirm)
실리콘 슬라이스 웨이퍼 및 랩 웨이퍼의 겉모양 검사
切片和重叠的硅片的目视检查
2002-05-29
KS D 0261(2022 Confirm)
실리콘 거울면 웨이퍼의 겉모양 검사
镜面硅片的目视检查
2012-05-17
KS D 0262(2022 Confirm)
실리콘 슬라이스 웨이퍼 및 랩 웨이퍼의 겉모양 검사
切片和搭接硅片的目视检查
2002-05-29
DL/T 2310-2021
电力系统高压功率器件用碳化硅外延片使用条件
Acceptance specification for silicon carbide epitaxial wafer of high voltage power devices in the grid system
2021-04-26
SJ/T 31096-1994
精密硅片磨床完好要求和检查评定方法
Readiness requirements and methods of inspection and assessment for high-precision silicon wafer grinding machines
GB/T 42789-2023
硅片表面光泽度的测试方法
Test method for gloss of silicon wafer
2023-08-06
GB/T 6619-2009
硅片弯曲度测试方法
Test methods for bow of silicon wafers
2009-10-30
YS/T 26-2016
硅片边缘轮廓检验方法
Test methods for edge contour of silicon wafers
2016-07-11
GB/T 19921-2018
硅抛光片表面颗粒测试方法
Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
2018-12-28
GB/T 32278-2015
碳化硅单晶片平整度测试方法
Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
2015-12-10
GB/T 26067-2010
硅片切口尺寸测试方法
Standard test method for dimensions of notches on silicon wafers
2011-01-10
GB/T 14146-2021
硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
2021-05-21
外延检测方法

最后更新时间 2025-08-27