作废 SJ 20844-2002
半绝缘砷化镓单晶微区均匀性测试方法 半绝缘砷化镓单晶微区均匀性测试方法 Test method for microzone homogeneity of semi-insulating monocrystal gallium arsenide
发布日期：2002-10-30
实施日期：2003-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料、                                                                       
ICS分类：
研制信息

起草单位： 信息产业部电子第四十六研究所

起草人： 汝琼娜、 何秀坤、 段曙光、 施亚坤

标准简介

本规范适用于半绝缘砷化镓晶片中电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱微区均匀性的测定

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绝缘测试方法单晶砷化镓

最后更新时间 2025-08-30