现行 SJ/T 11275-2002
卧式液相外延系统通用规范 卧式液相外延系统通用规范 Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system
发布日期：2002-10-30
实施日期：2003-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L92电子元器件与信息技术 - 电子设备与专用材料、零件、结构件 - 电子设备用绝缘零件
ICS分类： 29.260电气工程 - 特殊工作条件下用电气设备
研制信息

起草单位： 信息产业部电子第四十八研究所

起草人： 袁章其、 刘日喜、 王理政、 李军阳

标准简介
相似标准/计划/法规
外延卧式液相系统

最后更新时间 2025-08-30