现行 GB/T 14139-2019
硅外延片 硅外延片 Silicon epitaxial wafers
发布日期：2019-06-04
实施日期：2020-05-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家标准
CCS分类： H82冶金 - 半金属与半导体材料 - 元素半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
研制信息

归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位： 浙江金瑞泓科技股份有限公司、 南京国盛电子有限公司、 上海合晶硅材料有限公司、 有色金属技术经济研究院、 有研半导体材料有限公司

起草人： 张海英、 李慎重、 蒋玉龙、 骆红、 胡金枝、 卢立延、 李素青

标准简介

本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于在直径不大于150 mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片

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最后更新时间 2025-09-06