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SJ/T 10274-1991
SJ/T 10274-1991 标准详情
SJ/T 10274-1991
现行
掩模对准曝光机测试方法
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标准信息
相似标准
标准状态
发布日期
1991-11-12
实施日期
1992-01-01
标准信息
批准发布部门
电子工业部
制修订
制定
标准类别
无
标准分类
电子
标准层级
行业标准
标准状态
现行
标准号
SJ/T 10274-1991
标准名
掩模对准曝光机测试方法
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国家标准
GB/T 16524-1996
现行
光掩模对准标记规范
Specification for registration marks for photomasks
发布日期
1996-09-09
实施日期
1997-05-01
CCS分类
L95
ICS分类
31.200
国家标准
GB/T 32010.1-2015
现行
文献管理 可移植文档格式 第1部分:PDF 1.7
Document management—Portable document format—Part 1: PDF 1.7
发布日期
2015-09-11
实施日期
2016-04-01
CCS分类
A14
ICS分类
37.080
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