文档家Plus

GB/T 16524-1996 标准详情

GB/T 16524-1996 现行

光掩模对准标记规范

Specification for registration marks for photomasks

标准内容导航

标准状态

发布日期1996-09-09

实施日期1997-05-01

标准信息

批准发布部门国家标准委

发布部门国家技术监督局

技术归口国家标准委

是否采用国际标准该标准采用国际标准

中国标准分类号L95

国际标准分类号31.200

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 16524-1996

标准名光掩模对准标记规范

标准英文名Specification for registration marks for photomasks

相似标准推荐

GB/T 2464-1996 现行

硫铁矿和硫精矿中砷含量的测定 Ag-DDTC分光光度法

Pyrites and concentrate--Determination of arsenic content--Ag-DDTC spectrophotometric method

发布日期1996-10-25

实施日期1997-05-01

CCS分类D51

ICS分类73.060.01