T/CSEA 26-2023 标准详情
T/CSEA 26-2023
现行
电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件
Technical specification of 8YSZ target for Electron Beam Physical Vapor Deposition
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标准状态
标准信息
适用范围
本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。 本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材。
主要技术内容
本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材。
起草单位
北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、北京航空航天大学
起草人
何箐、邹晗、王世兴、王璐、彭徽
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