GB/T 16880-1997 标准详情

GB/T 16880-1997 现行
光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
Guidelines for photomask defect classification and size definition

标准内容导航

标准状态

1997-06-20
1998-03-01

标准信息

国家标准委
国家技术监督局
国家标准委
该标准采用国际标准
L97
31.020
国家标准
现行
GB/T 16880-1997
光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
Guidelines for photomask defect classification and size definition

相似标准推荐