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GB/T 17866-1999 标准详情

GB/T 17866-1999 现行
掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems

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标准状态

1999-09-13
2000-06-01

标准信息

国家标准委
国家质量技术监督局
国家标准委
该标准采用国际标准
L56
31.200
国家标准
现行
GB/T 17866-1999
掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems

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