GB/T 34898-2017 标准详情

GB/T 34898-2017 现行

微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element

标准内容导航

发布日期2017-11-01

实施日期2018-05-01

批准发布部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号L55

国际标准分类号31.200

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 34898-2017

标准名微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

标准英文名Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element