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GB/T 42896-2023 标准详情

GB/T 42896-2023 现行
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS

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标准状态

2023-08-06
2023-12-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
L59
31.200
国家标准
现行
GB/T 42896-2023
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS

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