GB/T 42897-2023 标准详情

GB/T 42897-2023 现行

微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

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发布日期2023-08-06

实施日期2023-12-01

批准发布部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号L59

国际标准分类号31.200

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 42897-2023

标准名微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

标准英文名Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS