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GB/T 44375-2024 标准详情

GB/T 44375-2024 现行
300mm半导体设备装载端口要求
Requirements for load ports of 300mm semiconductor equipment

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标准状态

2024-08-23
2025-03-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
L97
31.260
国家标准
现行
GB/T 44375-2024
300mm半导体设备装载端口要求
Requirements for load ports of 300mm semiconductor equipment

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