T/SCS 000024-2023 标准详情
T/SCS 000024-2023
现行
高导热氮化硅陶瓷基片
High thermal conductivity silicon nitride substrate
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标准状态
标准信息
适用范围
本文件规定了高导热氮化硅陶瓷基片的产品标记、技术要求、检验方法、检验规则、包装、运输与贮存。
主要技术内容
本文件规定了高导热氮化硅陶瓷基片的产品标记、技术要求、检验方法、检验规则、包装、运输与贮存。
起草单位
浙江多面体新材料有限公司，中国科学院上海硅酸盐研究所，浙江德汇电子材料有限公司，江苏宏微科技股份有限公司，基本半导体（无锡）有限公司
起草人
张景贤，段于森，李博闻，吴炜炜，李晓罕，王屹强，汤文昱，刘宁，李哲，王铃沣，周泊岸，徐荣军，孙炎权，王晓宝
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