化学机械抛光
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4-羟基苯甲酸对DSTI化学机械抛光SiO2Si3N4去除选择性的影响
4-羟基苯甲酸
DSTI
化学机械抛光
9浏览2025-07-20上传pdf2.22MB共32页未评分
A向蓝宝石晶片化学机械抛光研究
A向蓝宝石晶片
化学机械抛光
表面粗糙度
13浏览2025-07-20上传pdf2.11MB共32页未评分
单烷基磷酸酯钾盐和烷基糖苷对钴互连化学机械抛光的影响
单烷基磷酸酯钾盐
烷基糖苷
钴互连
15浏览2025-07-20上传pdf1.53MB共36页未评分
工艺参数对化学机械抛光磷锗锌晶体表面粗糙度的影响
化学机械抛光
磷锗锌晶体
表面粗糙度
16浏览2025-07-20上传pdf7.73MB共44页未评分
抛光液组分对钽晶圆化学机械抛光的影响
抛光液组分
钽晶圆
化学机械抛光
12浏览2025-07-20上传pdf1.15MB共28页未评分
铜互连阻挡层化学机械抛光时互连线厚度的控制
铜互连
阻挡层
CMP
12浏览2025-07-20上传pdf1.64MB共32页未评分
超声辅助化学机械抛光流场的CFD仿真研究
超声辅助
化学机械抛光
流场仿真
15浏览2025-07-18上传pdf0.07MB共2页未评分
化学机械双面抛光消除石英玻璃亚表面损伤的研究
化学机械抛光
双面抛光
石英玻璃
11浏览2025-07-18上传pdf1.54MB未评分
化学机械抛光304不锈钢中抛光液成份研究
化学机械抛光
304不锈钢
抛光液成分
13浏览2025-07-18上传pdf0.45MB共2页未评分
抛光液酸碱性对游离磨料化学机械抛光304不锈钢的影响
抛光液酸碱性
游离磨料
化学机械抛光
16浏览2025-07-17上传pdf0.45MB共2页未评分
阳离子表面活性剂对A向蓝宝石晶片化学机械抛光效率的影响
阳离子表面活性剂
化学机械抛光
蓝宝石晶片
21浏览2025-07-16上传pdf0.8MMB共2页未评分