微加工技术
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一种凸纹薄膜CMUT阵列的设计与实现
CMUT阵列
凸纹薄膜
超声波成像
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双控制模式MEMS风速风向传感器设计、仿真及制备
MEMS传感器
双控制模式
风速测量
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基于Si纳米膜的差分结构矢量水听器工艺研究
Si纳米膜
差分结构
矢量水听器
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基于牺牲层工艺的CMUT阵列设计制造及性能表征
CMUT阵列
牺牲层工艺
微加工技术
0 浏览量2025-07-20上传pdf0.49MB共4页暂未评分
基于纳米铂黑材料的超高辐射率MEMS红外光源研究
MEMS
红外光源
纳米铂黑
0 浏览量2025-07-20上传pdf0.64MB共5页暂未评分
微型静电扑翼驱动器的结构设计、加工与力学测试
微型静电驱动器
扑翼结构设计
微加工技术
1 浏览量2025-07-19上传pdf1.21MB共2页暂未评分
飞秒激光微加工技术发展及应用
飞秒激光
微加工技术
精密加工
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基于静电驱动的微细电解加工研究
静电驱动
微细电解加工
微加工技术
0 浏览量2025-07-18上传pdf0.63MB共6页暂未评分
微流控芯片注射光固化成型研究
微流控芯片
光固化成型
注射成型
1 浏览量2025-07-17上传pdf2.61MB共7页暂未评分