沉积工艺
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管式PECVD法沉积的SiyNx、SiOxNy叠层膜的研究
管式PECVD
SiyNx薄膜
SiOxNy叠层膜
4771浏览2025-08-18上传pdf2.03MB共20页未评分
Cu-Ag合金共沉积过程研究
Cu-Ag合金
共沉积
电沉积
14浏览2025-07-19上传pdf0.28MB共14页未评分
两步法沉积本征层改善非晶硅晶体硅界面钝化
非晶硅
晶体硅
界面钝化
17浏览2025-07-18上传pdf2.77MB共8页未评分
TCSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件
电子束物理气相沉积
8YSZ陶瓷靶材
技术条件
23浏览2025-06-01上传pdf0.37MB未评分