碳化硅单晶
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基于8英寸的碳化硅单晶生长炉技术
碳化硅单晶
8英寸
生长炉技术
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GBT 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
碳化硅单晶
抛光片
微管密度
35浏览2025-06-09上传pdf0.39MB未评分
GBT 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
碳化硅单晶
硼
铝
34浏览2025-06-08上传pdf0.35MB未评分
GBT 41765-2022 碳化硅单晶位错密度的测试方法
碳化硅单晶
位错密度
测试方法
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TIAWBS 001-2017 碳化硅单晶
碳化硅单晶
半导体材料
晶体生长
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TIAWBS 012-2019 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法
碳化硅单晶
抛光片
表面质量
30浏览2025-06-02上传pdf1.57MB未评分
TZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
半导体
碳化硅单晶
超高纯石墨粉
36浏览2025-06-02上传pdf1.8MB未评分
TIAWBS 001-2021 碳化硅单晶
碳化硅单晶
半导体材料
晶体生长
24浏览2025-06-02上传pdf0.71MB未评分