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GB/T 26066-2010 标准详情

GB/T 26066-2010 现行

硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法

practice for shallow etch pit detection on silicon

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标准状态

发布日期2011-01-10

实施日期2011-10-01

标准信息

批准发布部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号H80

国际标准分类号29.045

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 26066-2010

标准名硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法

标准英文名practice for shallow etch pit detection on silicon

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