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GB/T 29056-2025 标准详情

GB/T 29056-2025 即将实施
硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy—Inductively coupled plasma mass spectrometry

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标准状态

2025-10-31
2026-05-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
国家标准委
H17
77.040
国家标准
即将实施
GB/T 29056-2025
硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy—Inductively coupled plasma mass spectrometry

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