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GB/T 32280-2022 标准详情

GB/T 32280-2022 现行
硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
Test method for warp and bow of silicon wafers—Automated non-contact scanning method

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标准状态

2022-03-09
2022-10-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
H21
77.040
国家标准
现行
GB/T 32280-2022
硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
Test method for warp and bow of silicon wafers—Automated non-contact scanning method

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