GB/T 35306-2023 标准详情

GB/T 35306-2023 现行

硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法

Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry method

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发布日期2023-08-06

实施日期2024-03-01

批准发布部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号H17

国际标准分类号77.040

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 35306-2023

标准名硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法

标准英文名Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry method