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GB/T 37049-2018 标准详情

GB/T 37049-2018 现行
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method

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标准状态

2018-12-28
2019-04-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
H17
77.040.30
国家标准
现行
GB/T 37049-2018
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method

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