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《SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量》标准查询解读、电子版标准下载

SJ/T 11552-2015 现行
以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

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标准状态

2015-10-10
2016-04-01

标准信息

工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
制定
H82
29.045
方法标准
电子
行业标准
现行
SJ/T 11552-2015
以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

起草人

李静、何秀坤、刘兵 等

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