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YS/T 839-2012 标准详情

YS/T 839-2012 现行
硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

标准内容导航

标准状态

2012-11-07
2013-03-01

标准信息

工业和信息化部
全国有色金属标准化中心
制定
H68
77.120.99
无
有色金属
行业标准
现行
YS/T 839-2012
硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

起草单位

中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司

起草人

高英、武斌 等

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