GB/T 32189-2015 标准详情

GB/T 32189-2015 现行

氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope

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发布日期2015-12-10

实施日期2016-11-01

批准发布部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号H21

国际标准分类号77.040

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 32189-2015

标准名氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

标准英文名Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope