DB44/T 1527-2015 标准详情

DB44/T 1527-2015 现行
微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法

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标准状态

2015-01-30
2015-04-30

标准信息

广东省质量技术监督局
广东省质量技术监督局
制定
N53
71.040.01
信息传输、软件和信息技术服务业
方法标准
广东省
地方标准
现行
DB44/T 1527-2015
微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法

适用范围

本标准适用于扫描电子显微镜(SEM)图像清晰度的评价,涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中,评价方法包括傅里叶变换(FT)法、对比梯度(CG)法及微分(DR)法。

起草单位

广州计量检测技术研究院、金发科技股份有限公司

起草人

王潇潇、韦争亮、王海燕、张鹏、张洁、程庆、熊磊、汪立文

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