资源简介
摘要:本文件规定了微机电系统(MEMS)技术中硅基MEMS纳尺度结构的冲击试验方法,包括试验设备、试样制备、试验步骤和结果分析。本文件适用于硅基MEMS纳尺度结构的性能评估和质量控制。
Title:Test Method for Impact of Silicon-based MEMS Nanostructures in Microelectromechanical Systems (MEMS) Technology
中国标准分类号:O4
国际标准分类号:17.220
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拓展解读
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