微机电系统
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基于3D打印的隧道磁阻加速度计研究
3D打印
隧道磁阻
加速度计
3 浏览量2025-07-20上传pdf1.37MB共4页暂未评分
基于MEMS传感器的线路电压测量方法研究
MEMS传感器
线路电压测量
电压检测
0 浏览量2025-07-20上传pdf6.36MB共5页暂未评分
基于MEMS谐振式气压传感器的数字高度计研制
MEMS
谐振式气压传感器
数字高度计
0 浏览量2025-07-20上传pdf1.29MB共4页暂未评分
基于SOI-SOG键合的圆片级真空封装MEMS电场传感器
SOI-SOG键合
圆片级真空封装
MEMS电场传感器
1 浏览量2025-07-20上传pdf5.02MB共36页暂未评分
基于双螺旋式加热器的柔性MEMS流量传感器
柔性MEMS
流量传感器
双螺旋式加热器
1 浏览量2025-07-20上传pdf0.5MMB共4页暂未评分
基于微机电系统(MEMS)的磁通门传感器研究进展
MEMS
磁通门传感器
微机电系统
0 浏览量2025-07-20上传pdf1.2MMB共28页暂未评分
工程化硅微谐振加速度计设计与实现
硅微谐振加速度计
工程化设计
微机电系统
1 浏览量2025-07-20上传pdf2.75MB共4页暂未评分
梳齿结构深刻蚀工艺改进
深刻蚀工艺
梳齿结构
工艺改进
1 浏览量2025-07-20上传pdf0.4MMB共4页暂未评分
电容式超声换能器在医疗领域的研究进展
电容式超声换能器
医疗应用
超声成像
3 浏览量2025-07-20上传pdf0.62MB共4页暂未评分
面向乳腺癌诊断的压电式微机械超声换能器的设计
压电式微机械超声换能器
乳腺癌诊断
超声成像
1 浏览量2025-07-20上传pdf3.12MB共24页暂未评分
高灵敏度ZnO纳米梁谐振式加速度计
ZnO纳米梁
谐振式加速度计
高灵敏度
0 浏览量2025-07-20上传pdf8.3MMB共4页暂未评分
高频压电MEMS微镜设计与仿真
高频压电
MEMS微镜
微机电系统
0 浏览量2025-07-20上传pdf0.59MB共5页暂未评分
MEMS在片测试系统整体校准技术探讨
MEMS
在片测试
系统校准
4 浏览量2025-07-19上传pdf0.7MMB共5页暂未评分
多场耦合微机电系统力学性能研究
多场耦合
微机电系统
力学性能
0 浏览量2025-07-19上传pdf1.25MB共4页暂未评分
基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置
MEMS电场传感器
非接触式测量
静电测量装置
2 浏览量2025-07-18上传pdf2.23MB共6页暂未评分