微机电系统（MEMS）技术 术语 GBT 26111-2023
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微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 GBT 42158-2023
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制造,信息技术,航空航天
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 GBT 42895-2023
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制造
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 GBT 42896-2023
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微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪 GBT 42597-2023
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DB32T 4894-2024 微机电系统半导体气体传感器性能检测方法
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