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资源简介
摘要：本文件规定了集成电路主要工艺设备的术语和定义。本文件适用于集成电路制造领域中涉及工艺设备的研究、设计、生产、使用和管理等环节。
Title：Terms for Main Process Equipment of Integrated Circuits
中国标准分类号：L70
国际标准分类号：31.140 -
封面预览
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拓展解读
总结 SJT 10152-1991 主要内容
SJT 10152-1991《集成电路主要工艺设备术语》是一部规范集成电路制造领域中关键工艺设备的专业术语标准。该标准详细定义了与集成电路生产相关的各类设备及其功能，包括但不限于光刻机、刻蚀机、扩散炉、离子注入机等。这些术语的标准化有助于行业内的沟通与协作。
对比与老版本的变化
相比老版本，SJT 10152-1991 在以下几个方面进行了更新和改进：
- 术语覆盖范围扩大：新增了一些新型工艺设备的术语，例如化学气相沉积（CVD）设备和物理气相沉积（PVD）设备。
- 定义更加精确：对原有术语的定义进行了细化和优化，使其更符合现代集成电路制造的需求。
- 国际化接轨：部分术语引入了国际通用的英文名称，便于国内外技术交流。
- 删除过时术语：移除了不再使用的老旧设备相关术语，保持标准的时效性。
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