SJT 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语

总结 SJT 10152-1991 主要内容

SJT 10152-1991《集成电路主要工艺设备术语》是一部规范集成电路制造领域中关键工艺设备的专业术语标准。该标准详细定义了与集成电路生产相关的各类设备及其功能，包括但不限于光刻机、刻蚀机、扩散炉、离子注入机等。这些术语的标准化有助于行业内的沟通与协作。

对比与老版本的变化

相比老版本，SJT 10152-1991 在以下几个方面进行了更新和改进：

• 术语覆盖范围扩大：新增了一些新型工艺设备的术语，例如化学气相沉积（CVD）设备和物理气相沉积（PVD）设备。
• 定义更加精确：对原有术语的定义进行了细化和优化，使其更符合现代集成电路制造的需求。
• 国际化接轨：部分术语引入了国际通用的英文名称，便于国内外技术交流。
• 删除过时术语：移除了不再使用的老旧设备相关术语，保持标准的时效性。