SJ 3248-1989 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法

主要内容

SJ 3248-1989 是一项关于重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法的标准。该标准详细规定了通过红外反射技术测量半导体材料中载流子浓度的方法，包括实验设备、样品制备、测试条件以及数据处理等内容。

• 实验设备： 标准中列出了所需的仪器设备，如红外光谱仪、样品夹具等。
• 样品制备： 对样品的尺寸、表面处理和清洁要求进行了明确说明。
• 测试条件： 规定了测试时的温度、光束角度和波长范围等参数。
• 数据处理： 提供了计算载流子浓度的具体公式和步骤。

与老版本的变化

相比老版本，SJ 3248-1989 在以下几个方面进行了改进和更新：

• 设备精度提升： 强调了对现代高精度红外光谱仪的需求，并提供了更详细的校准指南。
• 样品要求细化： 新增了对样品表面粗糙度的要求，并优化了清洁流程以减少污染影响。
• 测试环境优化： 增加了对测试环境温度和湿度的控制要求，确保测试结果的一致性。
• 数据分析增强： 引入了更先进的数学模型来提高数据处理的准确性。