资源简介
摘要:本文件规定了同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法,包括测试原理、设备要求、样品制备和测量步骤。本文件适用于砷化镓外延层厚度的无损检测及质量控制。
Title:Test Method for Thickness of Homoepitaxial Gallium Arsenide Layer by Infrared Interference
中国标准分类号:L80
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
在遵循“SJ 3247-1989 同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法”核心原则的基础上,通过优化流程和降低成本,可以实现更高效的测试过程。以下是10项可行的弹性方案。