资源简介
摘要:本文件规定了采用光散射法测定电子级气体中颗粒含量的方法、仪器要求、操作步骤及结果计算。本文件适用于电子工业中使用的高纯度气体中颗粒物的定量分析。
Title:Determination of Particles in Electronic Grade Gases - Light Scattering Method
中国标准分类号:H61
国际标准分类号:25.040.40
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拓展解读
在遵循SJ 2798-1987《电子级气体中颗粒的测定方法 光散射法》核心原则的基础上,可以通过优化流程和调整资源配置来提升效率并降低成本。以下是10项可行的弹性方案。