SJ 2797-1987 电子级氩

摘要：本文件规定了电子级氩的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体工业、电子工业及其他相关领域用高纯氩气。
Title：Electronic Grade Argon
中国标准分类号：H63
国际标准分类号：71.040.30

关于SJ 2797-1987 电子级氩的常见问题解答

SJ 2797-1987 是中国国家标准，用于规范电子工业中使用的氩气质量要求。以下是关于此标准的一些常见问题及其解答。

1. SJ 2797-1987 的主要用途是什么？

答： SJ 2797-1987 主要用于规范电子工业中使用的氩气的质量要求，确保其纯度达到电子器件制造所需的严格标准。氩气在半导体制造过程中被广泛用作保护气体，以防止材料氧化或污染。

2. SJ 2797-1987 中对电子级氩的纯度要求有哪些具体指标？

答： SJ 2797-1987 对电子级氩的纯度有严格的要求，主要包括以下指标：

• 氧气含量 ≤ 0.5 ppm（体积分数）
• 氮气含量 ≤ 0.5 ppm（体积分数）
• 水分含量 ≤ 0.1 ppm（体积分数）
• 碳氢化合物含量 ≤ 0.1 ppm（体积分数）

3. 为什么电子级氩需要如此高的纯度？

答： 电子级氩的高纯度是由于它在半导体制造中的关键作用。例如，在芯片制造过程中，氩气用于保护硅片免受氧化和污染。如果氩气中含有杂质，可能会导致电路短路或其他故障，从而影响器件性能和可靠性。

4. SJ 2797-1987 是否适用于所有类型的氩气？

答： 不是。SJ 2797-1987 仅适用于电子工业中使用的氩气，特别是用于半导体制造和其他高精度电子应用的氩气。普通工业氩气或焊接用氩气不符合该标准的要求。

5. 如何检测电子级氩是否符合 SJ 2797-1987 标准？

答： 检测方法通常包括以下步骤：

• 使用气相色谱法检测氧气、氮气和碳氢化合物的含量。
• 使用露点仪测量水分含量。
• 通过光谱分析确认其他可能的杂质。

6. 如果氩气不符合 SJ 2797-1987 标准，会对生产造成什么影响？

答： 如果氩气不符合标准，可能导致以下问题：

• 半导体器件的性能下降或失效。
• 增加产品返工和报废率。
• 延长生产周期并增加成本。

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