SJ 2796-1987 电子级氧

SJ 2796-1987 电子级氧

SJ 2796-1987 是一项关于电子级氧气的技术标准，主要用于规范电子工业中使用的高纯度氧气的质量要求和检测方法。该标准详细规定了电子级氧气的纯度、杂质含量以及相关的测试方法。

主要内容

• 纯度要求： 电子级氧气的纯度需达到99.999%及以上。
• 杂质限制： 标准对多种杂质（如水分、二氧化碳、碳氢化合物等）设定了严格的限量值。
• 测试方法： 提供了详细的测试方法，包括色谱分析法、电导率测量法等。
• 应用领域： 主要应用于半导体制造、液晶显示器生产等领域。

与老版本的变化

• 纯度提升： 新版标准提高了氧气的纯度要求，从原来的99.99%提升到99.999%。
• 杂质控制更严格： 对某些关键杂质（如水分和碳氢化合物）的限量值进一步降低。
• 新增测试方法： 引入了更先进的测试技术，例如质谱分析法，以提高检测的准确性和可靠性。
• 适用范围扩展： 随着技术进步，新版标准的应用范围有所扩大，涵盖了更多高科技产业。