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摘要:本文件规定了高纯四氯化硅的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于制备高纯多晶硅及其他电子材料用的高纯四氯化硅。 Title:High Purity Silicon Tetrachloride 中国标准分类号:C43 国际标准分类号:71.040.30
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SJ 2593-1985《高纯四氯化硅》标准规定了高纯四氯化硅的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等内容。
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