资源简介
摘要:本文件规定了用电感耦合等离子体原子发射光谱法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。本文件适用于半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定。
Title:Determination of Impurity Elements in Silica Sol for Semiconductor Polishing Liquid - Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectroscopy Method
中国标准分类号:J80
国际标准分类号:71.040.50
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拓展解读
在执行“JCT 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 - 电感耦合等离子体原子发射光谱法”时,通过深入分析核心业务环节,可以找到提升效率、降低成本的优化路径。以下是10项弹性方案:
以上方案在不违背标准核心原则的前提下,通过灵活调整流程细节,有效提升了整体工作效率,降低了运行成本。