JBT 7621-1994 电力半导体器件工艺用高纯水

关于JBT 7621-1994 电力半导体器件工艺用高纯水的常见问题解答

JBT 7621-1994 是中国国家标准，用于规范电力半导体器件工艺中使用的高纯水的质量要求。以下是与该标准相关的常见问题及其详细解答。

1. JBT 7621-1994 的主要用途是什么？

该标准主要用于指导电力半导体器件制造过程中对高纯水的质量控制。高纯水是半导体制造的关键原材料之一，其质量直接影响器件的性能和可靠性。

2. 高纯水在电力半导体器件中的作用是什么？

高纯水在电力半导体器件制造中主要用于清洗、蚀刻和冷却等工艺环节。任何杂质都会影响器件的电学性能和寿命，因此需要严格控制水质。

3. JBT 7621-1994 对高纯水的主要指标有哪些要求？

• 电阻率：≥18 MΩ·cm（25℃）
• 颗粒物浓度：≤0.1 μm 的颗粒数 ≤10/mL
• 金属离子含量：如 Na⁺、K⁺、Fe³⁺ 等需低于检测限
• 微生物污染：无活菌检出

4. 如何判断高纯水是否符合 JBT 7621-1994 标准？

需要通过专业的实验室设备进行检测，例如电阻率仪、颗粒计数器、ICP-MS（电感耦合等离子体质谱仪）等。建议定期送检以确保持续达标。

5. 如果高纯水不符合标准，会对电力半导体器件造成什么影响？

不符合标准的高纯水可能导致以下问题：

• 器件表面残留污染物，导致短路或失效
• 增加器件的漏电流，降低击穿电压
• 加速器件的老化，缩短使用寿命

6. 是否可以使用普通工业用水代替高纯水？

不可以。普通工业用水含有大量杂质，无法满足电力半导体器件制造的需求。使用不当会导致严重的质量问题，甚至报废整批产品。

7. 高纯水的制备过程有哪些关键步骤？

• 预处理：去除悬浮物和大颗粒杂质
• 反渗透：进一步去除溶解性盐分
• 离子交换：深度去除金属离子
• 紫外线杀菌：消除微生物污染

8. 如何延长高纯水系统的使用寿命？

• 定期更换滤芯和树脂
• 监测水质参数，及时调整系统运行状态
• 避免长时间停机，防止细菌滋生

9. JBT 7621-1994 是否适用于其他行业？

虽然该标准主要针对电力半导体器件，但其部分指标也可参考应用于光伏、LED 和微电子等领域。

10. 如何选择合适的高纯水供应商？

• 查看供应商是否具备相关资质和认证
• 确认供应商是否能提供符合 JBT 7621-1994 的检测报告
• 了解供应商的服务能力和应急响应机制