GBT 8760-2020 砷化镓单晶位错密度的测试方法

GBT 8760-2020 砷化镓单晶位错密度的测试方法

GBT 8760-2020 是一项关于砷化镓单晶位错密度测试的标准，旨在提供一种科学、准确的方法来评估砷化镓单晶材料的质量。以下是该标准的主要内容以及与老版本的变化对比。

主要内容

• 测试原理：利用化学腐蚀技术，通过观察腐蚀后的表面形貌来检测位错密度。
• 样品准备：要求样品表面平整，无明显缺陷，并需经过严格的清洗处理。
• 测试步骤：
  • 选择合适的腐蚀液和温度。
  • 将样品浸入腐蚀液中，保持一定时间。
  • 取出样品后进行显微镜观察。
• 结果分析：根据腐蚀后的图像计算位错密度。

与老版本的变化

• 改进了测试条件：新版本对腐蚀液的成分和浓度进行了优化，提高了测试的精确度。
• 增加了适用范围：相较于老版本，新标准适用于更广泛的砷化镓单晶材料类型。
• 更新了设备要求：推荐使用更高分辨率的显微镜以获得更清晰的图像。
• 简化了操作流程：通过标准化操作步骤，减少了人为误差的可能性。