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    GBT 36656-2018 电子级三乙基镓
    三乙基镓电子级半导体材料纯度金属有机化合物
    20 浏览2025-06-08 更新pdf0.4MB 未评分
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    摘要:本文件规定了电子级三乙基镓的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量证明书。本文件适用于以金属镓和乙炔为原料制备的电子级三乙基镓,主要用于生产半导体材料及器件等领域。
    Title:Electronic grade triethylgallium
    中国标准分类号:H52
    国际标准分类号:71.080.30

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    GBT 36656-2018 电子级三乙基镓
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    GBT 36656-2018 电子级三乙基镓

    电子级三乙基镓(Triethylgallium, TEG)是一种重要的半导体材料前驱体,在微电子和光电子领域具有广泛的应用前景。GB/T 36656-2018 标准的发布为该材料的质量控制提供了科学依据和技术支持。本文将围绕该标准的核心内容、技术特点以及其在工业应用中的意义展开讨论。

    标准概述

    GB/T 36656-2018 是中国国家标准化管理委员会发布的关于电子级三乙基镓的技术规范。该标准详细规定了三乙基镓的纯度要求、杂质限量、物理化学性质及检测方法,旨在确保产品的一致性和可靠性,满足高端电子器件制造的需求。

    核心指标与技术要求

    • 纯度要求: 根据标准,电子级三乙基镓的纯度需达到99.99%以上,其中主要金属杂质含量不得超过百万分之一(ppm)。
    • 杂质控制: 标准特别强调对砷(As)、磷(P)、硅(Si)等关键杂质的严格限制,以避免影响最终器件的性能。
    • 物理化学特性: 包括熔点、沸点、密度等参数的精确测定,确保材料在不同工艺条件下的稳定表现。

    检测方法与质量保障

    为了实现上述指标,标准提出了多种先进的检测手段,包括气相色谱法(GC)、电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)和红外光谱分析等。这些方法不仅提高了检测精度,还为生产过程中的实时监控提供了技术支持。

    工业应用价值

    电子级三乙基镓作为III-V族化合物半导体的关键原料,广泛应用于高亮度LED、激光器和太阳能电池等领域。GB/T 36656-2018 的实施,不仅提升了国内相关产业的技术水平,也为国际市场竞争力的增强奠定了基础。

    结论

    GB/T 36656-2018 的出台标志着我国在电子级三乙基镓领域的标准化进程迈出了重要一步。通过严格的指标设定和科学的检测方法,该标准为行业提供了可靠的技术指南,推动了相关产业的高质量发展。

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