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摘要:本文件规定了电子级三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子工业中用作化学气相沉积(CVD)源材料的电子级三甲基铝。
Title:Specification for electronic grade trimethylaluminum
中国标准分类号:H23
国际标准分类号:71.100.99
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拓展解读
在遵循 GBT 36653-2018 电子级三甲基铝 标准的前提下,通过灵活调整和优化核心业务环节,可以有效降低生产成本并提升效率。以下是10项可行的弹性方案。