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摘要:本文件规定了金锗蒸发料的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以金和锗为原料制备的金锗蒸发料,主要用于半导体器件和微电子领域的薄膜制备。
Title:Gold-Germanium Evaporation Material
中国标准分类号:H23
国际标准分类号:77.120.99
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拓展解读
在遵循GBT 26292-2010标准的前提下,通过灵活调整生产流程和资源利用方式,可以有效降低生产成本并提升效率。以下是针对核心业务环节提出的10项弹性方案。