资源简介
摘要:本文件规定了硅基压力传感器的术语和定义、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以硅为材料,利用MEMS技术制造的压力传感器。
Title:Silicon-based Pressure Sensors
中国标准分类号:O4
国际标准分类号:25.100
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拓展解读
在遵循GBT 28855-2012标准的前提下,通过优化核心业务环节,可以实现流程的灵活性和成本的有效降低。以下是针对硅基压力传感器生产与应用提出的10项弹性方案。