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资源简介
摘要：本文件规定了微机电系统(MEMS)技术中微几何量评定的总则，包括评定方法、测量设备要求和数据处理原则。本文件适用于微机电系统的设计、制造、检测及质量控制环节。
Title：Microelectromechanical Systems (MEMS) Technology - General Rules for Micro-Geometric Evaluation
中国标准分类号：L79
国际标准分类号：35.180 -
封面预览
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拓展解读
GBT 26113-2010主要内容
GBT 26113-2010《微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则》规定了微机电系统中微几何量的评定原则和方法。标准适用于MEMS器件中微小尺寸、形状、位置等几何量的测量和评估。
与老版本的变化
- 更精确的定义：新版本对微几何量的定义更加精确，明确了测量对象和范围。
- 新增测量方法：增加了基于光学干涉和扫描电子显微镜的新测量方法，提高了测量精度。
- 改进的评定准则：引入了更为严格的评定准则，确保测量结果的一致性和可靠性。
- 扩展的应用场景：覆盖了更多MEMS器件的几何量评定需求，适应了技术发展的新要求。
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